Modificación de Haz de Iones para Fotónica de Silicio
Autores: Goncharova, Lyudmila V.; Simpson, Peter J.
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
Categoría
Ciencias Naturales y Subdisciplinas
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
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Citaciones: Sin citaciones
La implantación de iones ha desempeñado un papel significativo en la fabricación de dispositivos semiconductores y está creciendo en importancia en la fabricación de dispositivos fotónicos de Si. En este artículo, se revisa el progreso reciente en el crecimiento y caracterización de puntos cuánticos (QDs) de Si y Ge para dispositivos emisores de luz fotónica, con un enfoque en la implantación de iones como herramienta sintética. Las emisiones de luz de los QDs de Si y Ge se comparan con las emisiones de otros centros ópticamente activos, como defectos en el óxido de silicio y otros materiales de película delgada, así como emisores de luz de tierras raras. La detección de luz en fotónica de silicio se realiza mediante la integración de germanio y otros elementos en estructuras de detectores, lo que también se puede lograr mediante la implantación de iones. Se describen técnicas novedosas para crecer estructuras de SiGe y SiGeSn sobre Si, junto con su aplicación como detectores para operar en el rango de infrarrojo de onda corta.
Descripción
La implantación de iones ha desempeñado un papel significativo en la fabricación de dispositivos semiconductores y está creciendo en importancia en la fabricación de dispositivos fotónicos de Si. En este artículo, se revisa el progreso reciente en el crecimiento y caracterización de puntos cuánticos (QDs) de Si y Ge para dispositivos emisores de luz fotónica, con un enfoque en la implantación de iones como herramienta sintética. Las emisiones de luz de los QDs de Si y Ge se comparan con las emisiones de otros centros ópticamente activos, como defectos en el óxido de silicio y otros materiales de película delgada, así como emisores de luz de tierras raras. La detección de luz en fotónica de silicio se realiza mediante la integración de germanio y otros elementos en estructuras de detectores, lo que también se puede lograr mediante la implantación de iones. Se describen técnicas novedosas para crecer estructuras de SiGe y SiGeSn sobre Si, junto con su aplicación como detectores para operar en el rango de infrarrojo de onda corta.