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Modificación de la cohesión de la interfaz Cu/W por segregación

Autores: Bodlos, Rishi; Scheiber, Daniel; Spitaler, Jürgen; Romaner, Lorenz

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2023

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Acceso abierto

Artículo científico


Categoría

Ciencias de los Materiales

Subcategoría

Materiales estructurales

Palabras clave

Compuestos
Campos industriales
Propiedades termomecánicas
Productos semiconductores
Material de barrera
Impurezas
Modelos atomísticos
Energéticas
Segregación
Cohesión
Interfaces

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 3

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Los compuestos de Cu/W se utilizan ampliamente en diversos campos industriales, ya que muestran propiedades termomecánicas adecuadas para una amplia gama de aplicaciones. Además, en productos semiconductores, el WTi en contacto con Cu actúa como un material de barrera entre Cu y Si/SiO2. Por lo tanto, el comportamiento de unión tanto de Cu/W como de Cu/WTi es de gran interés económico, también en lo que respecta a los efectos que las impurezas podrían tener en el comportamiento de la interfaz Cu/W(Ti). El comportamiento de segregación de impurezas relevantes no se ha estudiado en detalle antes. En este trabajo, creamos modelos atómicos de las interfaces Cu/W y Cu/WTi, comparamos su energía con interfaces previamente conocidas y estudiamos el efecto de la segregación en la cohesión de la interfaz. Encontramos que todos los segregantes investigados, es decir, Ti, Cl, S, Al, H, O y vacantes, debilitan la cohesión de la interfaz.

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