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Artículo

Apertures with Laval Nozzle and Circular Orifice in Secondary Electron Detector for Environmental Scanning Electron MicroscopeAberturas con boquilla laval y orificio circular en detector de electrones secundario para microscopio electrónico de barrido ambiental

Resumen

Los microscopios electrónicos de barrido ambiental ofrecen amplias posibilidades para la exploración de varios tipos de muestras, especialmente muestras no conductoras y húmedas que contienen diferentes fases de material. La evaluación de la presión en la trayectoria de los electrones secundarios es uno de los parámetros importantes en el diseño del detector de centelleo de electrones secundarios. El proceso final está influenciado por el tamaño y la forma de las aberturas utilizadas para separar áreas con diferentes gradientes de presión. Este artículo se centra en la comparación de la abertura con orificio circular y la abertura con la boquilla Laval.

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