Resumen

En esta investigación se ofrece una solución confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de óxido metálico-sistema microelectromecánico) y, además, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS para aplicaciones de detección en infrarrojo. Mediante COMSOL y teoría, se verificó la posibilidad de una mejora de 31 x en el cambio de la frecuencia absoluta total con respecto al cambio de la temperatura ambiente.

• Materias:Tecnología de la instrumentación Instrumentos de medición
• Subjects:Instrumentation technology Measuring instruments
• Palabras claves:Instrumentación industrial, Sensores, Sensores de temperatura, Detector térmico, Sensor infrarrojo, Microbolómetro, Microresonadores, Semiconductor complementario de óxido metálico, CMOS, Sistema microelectromecánico, MEMS
• Keywords:Industrial instrumentation, Sensors, Temperature sensors, Thermal detector, Infrared sensor, Microbolometer, Microresonators, Complementary metal oxide semiconductor, CMOS, Microelectromechanical system, MEMS