Se sintetizaron películas fotocatalizadoras de TiO2 estructuradas jerárquicamente mediante el método de deposición química de vapor metal-orgánico a baja presión (LPMOCVD) para examinar su actividad fotocatalítica. El espesor de las películas de TiO2 aumentó proporcionalmente con el incremento del tiempo de deposición. La película de TiO2 sintetizada a 773 K mostraba una estructura jerárquica compuesta por cristales de anatasa laminares (112)-orientados crecidos verticalmente. Con el aumento del tiempo de deposición, el grano se hizo más grande y la morfología más nítida. En la etapa inicial de CVD se formaron pequeños cristales particulares, por encima de los cuales se produjo el crecimiento secuencial de capas de columnares con tamaño creciente, formando la estructura jerárquica. La película de TiO2 con estructura jerárquica mostró una actividad fotocatalítica mucho mayor que la película de TiO2 sin estructura jerárquica. La actividad fotocatalítica aumentaba con el incremento del espesor de la película.
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