Resumen

Este trabajo presenta problemas de secuenciación de obleas teniendo en cuenta las condiciones percibidas de la cámara y las actividades de mantenimiento en una única herramienta de cluster a través del método de optimización basado en simulación. Desarrollamos métodos de optimización que conducirían a la mejor política de liberación de obleas en la herramienta de cámara para maximizar el rendimiento global de las obleas en el sistema de fabricación de semiconductores. Dado que la degradación de la cámara pone en peligro el rendimiento de las obleas, se tiene en cuenta el mantenimiento de la cámara en el proceso de toma de decisiones sobre la secuencia de las obleas. Además, en este trabajo se modifica el algoritmo genético para resolver los problemas de programación. Como resultado, se ha demostrado que la programación de los trabajos debe gestionarse en función de las condiciones de degradación de la cámara y de las actividades de mantenimiento para maximizar el rendimiento global de las obleas.

• Materias:Análisis Matemático Álgebra Ingeniería Matemática aplicada Lógica matemática
• Subjects:Mathematical Analysis Algebra Engineering Applied Mathematics Mathematical logic
• Palabras claves:actividades de mantenimiento, mejor política de liberación de obleas, condiciones de degradación de la cámara, rendimiento global de obleas, sistema de fabricación de semiconductores, herramienta de agrupación única, decisión de secuencia de obleas, papel, condiciones de la cámara, degradación de la cámara
• Keywords:maintenance activities, best wafer release policy, chamber degradation condition, overall wafer yield, semiconductor manufacturing system, single cluster tool, wafer sequence decision, paper, chamber conditions, chamber degradation