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Artículo

Analysis of the Spatial-Frequency Characteristics of the Photo-Assisted Method of a Quartz Rough Surface Nano-PolishingAnálisis de las características de frecuencia espacial del método fotoasistido de nanopulido de una superficie rugosa de cuarzo

Resumen

Se determina la relación entre los parámetros espacio-frecuencia de una superficie rugosa con un perfil aleatorio, que tiene una forma gaussiana de la función de correlación, y las características de amplitud-frecuencia del campo eléctrico creado por esta superficie. Se ha considerado la determinación numérica de la configuración óptima del campo evanescente formado cerca de la superficie rugosa de cuarzo en el medio gaseoso saturado con moléculas de cloro cuando se ilumina desde el lado del cuarzo. Se utiliza el enfoque de elementos finitos para resolver la ecuación vectorial bidimensional de Helmholtz. Se encontró que en la etapa inicial del pulido fotoquímico se crean diferentes condiciones electrodinámicas para el proceso de grabado dependiendo del valor de la desviación estándar de la altura del perfil. En particular, cuando la desviación estándar es inferior a 1 nm, todas las protuberancias de la superficie, para las que los armónicos del espectro espacial del perfil están situados en la región de la pendiente máxima de la función espectral, son grabadas más activamente. Esto conduce a una disminución de la anchura efectiva del espectro espacial de una superficie rugosa de cuarzo y a un aumento de su longitud de correlación. Por lo tanto, simultáneamente con la disminución de la altura de las protuberancias, la superficie se vuelve más plana. El artículo muestra el diferente carácter de las condiciones del proceso de nanopulido de la superficie de cuarzo en función de la desviación estándar inicial de la altura del perfil.

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Información del documento

  • Titulo:Analysis of the Spatial-Frequency Characteristics of the Photo-Assisted Method of a Quartz Rough Surface Nano-Polishing
  • Autor:Vasyl, Kanevskii; Serhii, Kolienov; Valerii, Grygoruk; Oleksandr, Stelmakh; Hao, Zhang
  • Tipo:Artículo
  • Año:2021
  • Idioma:Inglés
  • Editor:Hindawi
  • Materias:Propagación de ondas Rayo láser Onda electromagnética Óptica Biofotónica
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