Resumen

El hidróxido de tetrametilamonio (TMAH) es un agente grabador anisótropo utilizado en el proceso de grabado húmedo de la industria de semiconductores y es difícil de degradar mediante biotratamientos cuando existe en aguas residuales. Este estudio evaluó el rendimiento de un sistema combinado con ultravioleta, catalizador magnético (SiO2/Fe3O4) y O3, denotado como UV/O3, a TMAH en una solución acuosa. La eficacia de mineralización del TMAH en diversas condiciones sigue la secuencia: UV/O3 > UV/H2O2/O3 > H2O2/SiO2/Fe3O4/O3 > H2O2/O3 > SiO2/Fe3O4/O3 > O3 > UV/H2O2. Los resultados sugieren que el proceso UV/O3 proporciona la mejor condición para la mineralización de TMAH (40 mg/L), resultando en una mineralización del 87,6%, a 60 min de tiempo de reacción. Además, la eficiencia de mineralización de SiO2/Fe3O4/H2O2/O3 fue significativamente mayor que la de O3, H2O2/O3 y UV/H2O2. Más del 90% del catalizador magnético se recuperó y se redispersó fácilmente en una solución para su reutilización.

• Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Optoelectrónica
• Subjects:Solar energy Photochemistry Photocatalysis Nanostructures Optoelectronics
• Palabras claves:h2o2, tmah, catalizador magnético, eficacia de mineralización, hidróxido de tetrametil amonio, tiempo de reacción mínimo, fe3o4, sio2, mineralización, proceso o3
• Keywords:h2o2, tmah, magnetic catalyst, mineralization efficiency, tetramethyl ammonium hydroxide, min reaction time, fe3o4, sio2, mineralization, o3 process