Resumen

Presentamos una capa de detección de TiO2 decorada con PdO mediante métodos de pulverización catódica por radiofrecuencia (RF) y demostramos el rendimiento de la detección de gas H2. Se prepararon películas sensoras de TiO2 anatasa con un espesor de 200 nm y se depositó una capa de Pd sobre las películas de TiO2 con un espesor que oscilaba entre 3 nm y 13 nm. Mediante un proceso de recocido in situ de la multicapa TiO2/Pd a 550°C durante 1 hora, observamos que el Pd se convierte en PdO mediante el perfil de profundidad de la espectroscopia de electrones Auger (AES) y confirmamos la presencia de PdO decorado en la capa sensora de TiO2 mediante microscopio electrónico de barrido (SEM) y microscopio de fuerza atómica (AFM). También observamos una señal de detección positiva para el sensor de TiO2 decorado con PdO de 3, 4,5 y 6,5 nm, mientras que observamos una señal de salida negativa para el decorado con PdO de 13,5 nm. Utilizando una plataforma de microcalentamiento, obtuvimos un tiempo de respuesta rápido de ~11 s y una sensibilidad de 6 μV/ppm para 3 nm de PdO con una potencia de 33 mW.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanocompuestos Nanofibras
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanocomposites Nanofibers
• Palabras claves:pdo, proceso de recocido multicapa de pd, espectroscopia electrónica de barrena, tiempo de respuesta rápido, señal de salida negativa, tio2, capa, gas h2, capa de pd, películas de tio2
• Keywords:pdo, pd multilayer annealing process, auger electron spectroscopy, fast response time, negative output signal, tio2, layer, h2 gas, pd layer, tio2 films