Resumen

En este trabajo se informa sobre sensores de gas de óxido metálico a nanoescala y microescala, consistentes en barreras de metal-semiconductor-metal diseñadas mediante microscopía de sonda de barrido. Se han ensayado dos óxidos metálicos distintos, el de molibdeno y el de titanio, a diferentes temperaturas, utilizando CO2 y H2 como gases de prueba. Se demostraron sensibilidades hasta niveles de ppm y se estudió la influencia de las atmósferas de trabajo secas y húmedas en estas conductividades de los óxidos metálicos. Además, se evaluó y analizó la energía de activación dentro del rango de temperaturas de trabajo del sensor. Por último, se proporcionan análisis morfológicos, químicos y estructurales completos de los compuestos de óxidos que permiten su identificación como MoO3 y TiO2-x.

• Materias:Corrosión del acero Aceites y grasas Polimeros Acero Acero inoxidable Descarga eléctrica microfluidos
• Subjects:Corrosion of steel Oils and fats Polymers Steel Stainless steel Electric shock microfluids
• Palabras claves:óxido metálico distinto, conductividad del óxido metálico, sensor de gas de óxido, microscopía de sonda de barrido, atmósfera de trabajo húmeda, rango de temperatura del sensor, barreras metálicas, gas de prueba, nivel de ppm, compuesto de óxido
• Keywords:distinct metal oxide, metal oxide conductivity, oxide gas sensor, scanning probe microscopy, humid working atmosphere, sensor temperature range, metal barriers, test gas, ppm level, oxide composite