Resumen

Durante el proceso de fotolitografía estándar de SU-8, se forma una topografía con un perfil de altura característico producido por la diferente contracción de las regiones expuestas a la radiación UV y las enmascaradas. Estudiamos el cambio de la humectabilidad, la solubilidad de la película y las modificaciones topográficas en películas de SU-8 de diferentes espesores y mostramos su relevancia en la formación de matrices de hilatura-flujo en capas superiores hechas de fotorresistencias positivas. Asimismo, se produce un contraste considerable en la solubilidad de la película y en la energía superficial, tal y como se observa en las mediciones del ángulo de contacto. También se ha observado la difusión en la interfase de las fotorresistencias y se ha seguido mediante Rutherford Back Scattering. Se discuten las derivaciones de los efectos mencionados en relación con las limitaciones de los procesos de microfabricación multicapa y las posibilidades de aprovechar los perfiles superficiales obtenidos.

• Materias:Energía nuclear Dinámica molecular Metales Electrodos Acero Acero inoxidable
• Subjects:Nuclear energy Molecular dynamics Metals Electrodes Steel Stainless steel
• Palabras claves:solubilidad de la película, cambio de mojabilidad, proceso fotolitográfico estándar, medición del ángulo de contacto, proceso de microfabricación multicapa, perfil de altura de las características, formación de hilatura, capa superior, efectos mencionados, energía superficial
• Keywords:film solubility, change of wettability, standard photolithography process, contact angle measurement, multilayered microfabrication process, characteristics height profile, formation of spinning, top layer, mentioned effects, surface energy