Resumen

La etapa fina de próxima generación del escáner de obleas necesita un actuador adecuado que cumpla los requisitos de alta velocidad, alta aceleración y alta precisión. El actuador de bobina móvil ya no es la mejor opción debido a su gran tamaño y a que la disipación del calor es difícil de resolver. El actuador de reluctancia puede proporcionar una gran fuerza basada en una propiedad única de pequeño volumen y baja corriente, por lo que es un candidato muy adecuado. Pero la fuerte no linealidad, como la histéresis entre la corriente y la fuerza, limita las aplicaciones del actuador de reluctancia en el posicionamiento nanométrico. Este trabajo propone una configuración de control de corriente no lineal con compensación de histéresis utilizando la red neuronal multicapa adaptativa. Los resultados de la simulación muestran que el compensador de histéresis es eficaz para superar la histéresis y es prometedor en aplicaciones de control de precisión.

• Materias:Robótica Sistemas no lineales Modelo lineal Instrumentación automática Optimización de procesos
• Subjects:Robotics Nonlinear systems Linear model Automatic instrumentation Process optimization
• Palabras claves:configuración de control de corriente no lineal, aplicaciones de control de precisión, aplicaciones de actuador de reluctancia, actuador de bobina móvil, histéresis, resultados de simulación, multicapa adaptativo, mejor elección, fuerza grande, etapa fina
• Keywords:nonlinear current control configuration, precision control applications, reluctance actuator applications, voice coil actuator, hysteresis, simulation results, adaptive multilayer, best choice, big force, fine stage