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En los últimos años, a medida que aumenta la demanda de teléfonos móviles inteligentes con paneles táctiles, también se ha incrementado el sistema de alineación/compensación de la etapa de alineación con servocontrol de visión. Debido al hecho de que la tradicional etapa XYθ de tipo apilado tiene errores acumulativos de montaje y es pesada, ha sido sustituida gradualmente por la etapa coplanar caracterizada por tres actuadores en el mismo plano con tres grados de libertad. El modo de alineación de imagen más simple utiliza dos cámaras como equipos para el control de retroalimentación, y la pieza de trabajo se coloca en la etapa de trabajo. La pieza de trabajo suele estar grabada/marcada. Después de que las cámaras capturan imágenes y cuando la posición de la marca en la cámara se obtiene mediante el procesamiento de imágenes, la marca se puede mover a la posición designada en la cámara moviendo la platina y utilizando el algoritmo de alineación. En este estudio se utilizó una platina XXY coplanar con una resolución de posicionamiento de 1 μm. Debido al hecho de que la resolución de la cámara es de aproximadamente 3,75 μm por píxel, por lo que se utiliza una tecnología de subpíxeles, y la repetibilidad de alineación lineal y angular del sistema de alineación puede alcanzar 1 μm y 5 arcsec, respectivamente. El control de movimiento servo visual para el movimiento de alineación se completa en 1 segundo utilizando la platina coplanar XXY.
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