Resumen

Los sensores de presión piezorresistivos microelectronicomecánicos de silicio son los primeros y más exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sólido y dimensiones pequeñas a bajo costo cuando se producen en masa. En este artículo se brinda una caracterización de estos dispositivos para medición de temperatura, se propone un método de corrección de sensores y se demuestra que se puede lograr un error de medida tan bajo como ± 0,3 °C.

• Materias:Instrumentos de medición Tecnología de la instrumentación
• Subjects:Measuring instruments Instrumentation technology
• Palabras claves:Instrumentación industrial, Sensores, Sensores de presión, Sensores MEMS, Sensores de presión piezorresistivos microelectronicomecánicos de silicio, Medición de temperatura, Corrección de sensores
• Keywords:Industrial instrumentation, Sensors, Pressure sensors, MEMS sensor, Silicon microelectromechanical (MEMS) piezoresistive pressure sensors, Temperature measurement, Sensor correction