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Determination of Optical Properties of Thin Films from Ketteler-Helmholtz Dispersion Relations: Application to the Case of Ultraviolet Irradiated Zirconium OxideDeterminación de las propiedades ópticas de las películas delgadas a partir de las relaciones de dispersión de Ketteler-Helmholtz: Aplicación al caso del óxido de circonio irradiado con rayos ultravioleta

Resumen

Se describe un nuevo método basado en las relaciones de dispersión de Ketteler-Helmholtz. Este método permite determinar con precisión las propiedades ópticas de las películas delgadas a partir de una única curva de transmitancia. Se analiza el caso de una película delgada de óxido de circonio postdeposición irradiada con luz ultravioleta. El efecto de la irradiación ultravioleta se compara con el calentamiento a baja temperatura de la postdeposición. Se demuestra que ambos procesos tienen un efecto comparable sobre las propiedades ópticas de las películas. Sin embargo, como nuestro análisis permite inferir que la irradiación ultravioleta produce superficies de película más suaves, el uso de la irradiación ultravioleta es una alternativa interesante al proceso de calentamiento. En consecuencia, la reducción de la dispersión de la luz desde la interfaz con el aire proporciona películas de mejor calidad óptica, lo cual es especialmente valioso en el caso de los sistemas multicapa.

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