Se sintetizaron diodos metal-aislante-semiconductor (MIS) basados en ZnO:YAG con diversos aislantes sobre un vidrio de óxido de indio y estaño (ITO) mediante pirólisis por pulverización ultrasónica. Como aislantes se utilizaron por separado SiO2 y MnZnO (MZO). La difracción de rayos X reveló la estructura cristalina de la película de ZnO:YAG. Se estudiaron las propiedades de fotoluminiscencia (PL) de la película de ZnO:YAG y se observó que el color de la fotoluminiscencia era casi blanco. Se compararon las propiedades eléctricas de los diodos con diferentes aislantes y espesores. El diodo con el aislante SiO2 tenía una tensión umbral más baja, una corriente de fuga más pequeña y una resistencia en serie más alta que el que tenía la capa aislante MZO.
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