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Effect of Different Deposition Power of In2O3 Target on the Characteristics of IGZO Thin Films Using the Cosputtering MethodEfecto de Diferentes Potencias de Deposición del Blanco de In2O3 sobre las Características de las Películas Delgadas de IGZO Utilizando el Método de Cosputtering

Resumen

Las películas delgadas de (In, Ga, Zn)O x (IGZO) se depositaron sobre sustratos de vidrio utilizando el método de cosputtering en un sistema de sputtering por magnetrón de radiofrecuencia. Se utilizaron como blancos cerámicos Zn2Ga2O5 (Ga2O3-2 ZnO, GZO) e In2O3 y se emplearon pistolas duales para depositar las películas delgadas de IGZO. La potencia de deposición del blanco GZO fue de 80 W y la del blanco In2O3 puro varió de 70 W a 100 W, y el tiempo de deposición fue de 30 min. El efecto de la potencia de deposición del blanco de In2O3 sobre las propiedades cristalinas, superficiales, eléctricas y ópticas de las películas delgadas de IGZO se investigó a temperatura ambiente en una atmósfera de Ar puro. Las películas delgadas de IGZO cosputtered mostraron una superficie muy lisa y sin características y una estructura amorfa independientemente de la potencia de deposición del blanco de In2O3 debido al proceso de sputtering a temperatura ambiente. Sin embargo, las películas delgadas de IGZO cosputtered mostraron propiedades de electrodo transparente porque tenían una alta relación de transmitancia y baja resistividad. Las variaciones en los valores de la brecha de banda óptica ( E g ) de la película delgada IGZO se evaluaron a partir de los gráficos de ( α h ν ) 2 = c ( h ν - E g ) . También se demostró que la potencia de deposición del blanco de In2O3 tenía un gran efecto sobre la movilidad y el valor de E g de las películas delgadas de IGZO.

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Información del documento

  • Titulo:Effect of Different Deposition Power of In2O3 Target on the Characteristics of IGZO Thin Films Using the Cosputtering Method
  • Autor:Shang-Chao, Hung; Kin-Tak, Lam; Cheng-Fu, Yang; Yu-Jhen, Liou
  • Tipo:Artículo
  • Año:2014
  • Idioma:Inglés
  • Editor:Hindawi Publishing Corporation
  • Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Biofotónica
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