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The Effect of Sputtering Parameters on the Film Properties of Molybdenum Back Contact for CIGS Solar CellsEfecto de los parámetros de pulverización catódica en las propiedades de la película de contacto dorsal de molibdeno para células solares CIGS

Resumen

Las películas delgadas de molibdeno (Mo) se utilizan ampliamente como contacto posterior para células solares basadas en CIGS. En este trabajo se determinan los ajustes óptimos de los parámetros de pulverización catódica para una película delgada de Mo preparada sobre sustratos de vidrio sodocálcico, utilizando pulverización catódica por magnetrón de corriente continua (CC), con un blanco metálico de Mo, en un entorno de gas argón. Se utiliza un método Taguchi con una matriz ortogonal L9, la relación señal-ruido y un análisis de varianzas para determinar las características de rendimiento de la operación de recubrimiento. Los principales parámetros de pulverización catódica, como la presión de trabajo (mTorr), la potencia de corriente continua (W) y la temperatura del sustrato (°C), se optimizan con respecto a las características estructurales, la morfología de la superficie y las propiedades eléctricas de las películas de Mo. Se realiza un ensayo con cinta adhesiva en cada película para determinar la fuerza de adhesión de las películas. Los resultados experimentales muestran que la presión de trabajo tiene el efecto dominante sobre la resistividad eléctrica y la reflectancia. La intensidad del pico principal (110) de la película de Mo aumenta y la anchura máxima a la mitad disminuye gradualmente a medida que aumenta la potencia de pulverización catódica. Además, la aplicación de una bicapa de Mo demuestra una buena adherencia y una baja resistividad.

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Información del documento

  • Titulo:The Effect of Sputtering Parameters on the Film Properties of Molybdenum Back Contact for CIGS Solar Cells
  • Autor:Peng-cheng, Huang; Chia-ho, Huang; Mao-yong, Lin; Chia-ying, Chou; Chun-yao, Hsu; Chin-guo, Kuo
  • Tipo:Artículo
  • Año:2013
  • Idioma:Inglés
  • Editor:Hindawi Publishing Corporation
  • Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Optoelectrónica
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