Se depositaron películas delgadas de Cu2ZnSnS4 (CZTS) sobre sustratos de vidrio sodocálcico (SLG) recubiertos de molibdeno (Mo) utilizando una técnica de pulverización catódica por magnetrón de un solo blanco. Los parámetros de pulverización catódica, como la presión de base, la presión de trabajo, la potencia de rf, el caudal de gas argón (Ar) y el tiempo de deposición se mantuvieron constantes durante todo el experimento. Se analizó el efecto de diferentes temperaturas del sustrato, por ejemplo, temperatura ambiente (TA), 300°C, 350°C, 370°C, 400°C y 450°C, estudiando sus propiedades estructurales, eléctricas y ópticas. A continuación, las películas as-sputtered se recocieron a 460°C. Las medidas de difracción de rayos X (XRD) revelaron que la estructura era kesterita con un pico en el plano (112) tanto en las películas recocidas como en las pulverizadas. La cristalinidad de las películas mejoró con el aumento de la temperatura del sustrato hasta 370°C. También se observaron fases secundarias de MoS2, CuxMoSx, CuxSnSx, CuxS y Cu6MoSnS8 (hemusita) en las películas recocidas de CZTS. La microscopía electrónica de barrido (SEM) muestra que el tamaño de los cristalitos de la película delgada de CZTS depositada está proporcionalmente relacionado con la temperatura de deposición. La mayor rugosidad superficial de 67,318 nm se observa mediante microscopía de fuerza atómica (AFM). El tipo de conductividad de las películas resultó ser de tipo p mediante el sistema de medición de efecto Hall.
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