Resumen

En este trabajo, se depositaron películas delgadas estequiométricas de Sb2Te3 con varios espesores sobre un sustrato flexible utilizando sputtering de magnetrón RF. Se investigaron los efectos del tamaño de grano y del espesor sobre las propiedades termoeléctricas, como el coeficiente Seebeck (S), la conductividad eléctrica (σ), el factor de potencia (PF) y la conductividad térmica (k). Los resultados muestran que el tamaño de grano estaba directamente relacionado con el espesor de la película. A medida que aumentaba el grosor de la película, también aumentaba el tamaño del grano. El coeficiente Seebeck y la conductividad eléctrica se correspondían con el tamaño de grano de las películas. El camino libre medio de los portadores aumenta a medida que aumenta el tamaño de grano, lo que provoca una disminución del coeficiente Seebeck y un aumento de la conductividad eléctrica. La conductividad eléctrica afecta en gran medida a la dependencia de la temperatura de la FP, que da como resultado el valor más alto de 7,5 × 10-4 W/m-K2 a 250°C para espesores de película superiores a 1 µm. En el mecanismo de la conductividad térmica, el grosor de la película afecta al predominio de los fonones o portadores. Para espesores de película inferiores a 1 µm, el comportamiento de los fonones es dominante, mientras que ambos lo son para espesores de película superiores a 1 µm. Por tanto, el control del tamaño de grano y del espesor de la película es fundamental para controlar el rendimiento de las películas delgadas de Sb2Te3.

• Materias:Análisis de suelos Hormigón Asfalto Drenaje Acero
• Subjects:Soil testing Concrete Asphalt Drainage Steel
• Palabras claves:espesor de la película, tamaño de grano, conductividad eléctrica, coeficiente seebeck, película delgada de sb2te3, dependencia de pf, aumento del tamaño de grano, camino libre medio, sputtering de magnetrón rf, dominio de los fonones
• Keywords:film thickness, grain size, electrical conductivity, seebeck coefficient, sb2te3 thin film, dependence of pf, grain size increase, means free path, rf magnetron sputtering, dominance of phonons