Con el fin de simplificar el procedimiento del proceso y mejorar la eficiencia de conversión (η), presentamos nuevos pasos de apertura por láser y difusión de POCl3 en un solo paso para fabricar células solares de emisor selectivo (SE), en las que se formaron simultáneamente regiones fuertemente dopadas (HDR) y regiones ligeramente dopadas (LDR). Para HDR, dividimos seis células en dos grupos para la difusión de POCl3 con resistencia de lámina (RS) de 40 Ω/sq (para el grupo A) y 50 Ω/sq (para el grupo B). La duración de la oxidación en seco a una temperatura de 850°C fue de 18, 25 y 35 min para las 3 células diferentes de cada grupo. Esto creó seis muestras SE con diferentes emparejamientos RS para el HDR y el LDR. La célula óptima (muestra SE2) con valores de RS de 40/81 Ω/Sq en HDR/LDR mostró la mejor η de 16,20%, tensión de circuito abierto (VOC) de 612,52 mV y factor de llenado (FF) de 75,83%. Los ratios de mejora son 1,57o η y 14,32o eficiencia cuántica externa (EQE) en comparación con los del proceso de difusión en dos pasos de nuestro estudio anterior. Además, el proceso de apertura láser en un solo paso y la omisión del paso de eliminación del daño causado por la ablación láser reducen especialmente la contaminación química, mostrando así un proceso ecológico para su uso en la producción a escala industrial.
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