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Artículo

The Impact of Critical Flow on the Primary Electron Beam Passage through Differentially Pumped ChamberEl impacto del flujo crítico en el paso primario del haz de electrones a través de la cámara bombeada diferencialmente

Resumen

El microscopio electrónico de barrido ambiental crea nuevas posibilidades en el campo del examen de varios tipos de muestras y sus fases. El artículo analiza y compara los resultados de la medición de bombeo de aire para formas seleccionadas de la cámara de bombeo diferencial para crear vacío, utilizando el sistema Cosmos FloWorks.

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