Resumen

Los resultados de la investigación teórica, de modelado y experimental de las propiedades acústicas de microondas de la estructura en capas piezoeléctrica "Me1 / AlN / Me2 / (100) diamond" se han presentado dentro de una banda de frecuencias amplia de 0,5-10 GHz. Se ha encontrado el parámetro de calidad de material más conocido Q × f ~ 1014 Hz para el diamante sintético tipo IIa a una frecuencia operativa de ~ 10 GHz. Se han establecido y estudiado experimentalmente las condiciones de excitación y propagación UHF de las ondas acústicas de la masa, superficie y Lamb. Se han estudiado las dependencias de frecuencia del factor de impedancia y calidad para obtener una serie de parámetros de estructura en capas piezoeléctricas como coeficiente de acoplamiento electromecánico, parámetros de circuito equivalentes, etc. Los resultados del modelado de elementos finitos 2D de una estructura piezoeléctrica en capas dada se han comparado con los experimentales Obtenido para el resonador acústico real a gran volumen. Se ha estudiado el origen de los picos resonantes espúreos del resonador acústico a granel de gran intensidad. Los resultados sobre la atenuación acústica UHF del diamante monocristalino sintético de tipo IIa se han presentado y discutido en términos de los mecanismos Akhiezer y Landau-Rumer de la interacción fonón-fonón. Se han realizado la identificación y clasificación de las ondas de Cordero pertenecientes a varias ramas, así como curvas dispersivas de velocidades de fase. Se ha reconocido la necesidad de introducir una clasificación más correcta de Lamb-mode.

• Materias:Tecnología avanzada Tecnologí­a de los materiales Materiales
• Subjects:Advanced technology Materials engineering Materials
• Palabras claves:nitruro de aluminio, diamante sintético, ultra-alta frecuencia, onda acústica masiva, onda Lamb, acoplamiento electromecánico, atenuación acústica
• Keywords:aluminum nitride, synthetic diamond, ultra-high frequency, bulk acoustic wave, Lamb wave, electromechanical coupling, acoustic attenuation