Resumen

Se prepararon pelculas delgadas de CdO dopadas con Al mediante pulverizacin catdica por magnetrn de radiofrecuencia a diferentes tiempos de deposicin y temperaturas del sustrato. La difraccin de rayos X mostr que los cambios en las intensidades de los planos (200), (220) y (311) seguan una tendencia similar con el aumento del tiempo de deposicin. La superficie de la pelcula delgada se examin mediante microscopa electrnica de barrido. Los tamaos de grano de las pelculas delgadas de CdO dopadas con Al aumentaron significativamente con el incremento del tiempo de deposicin. Los espesores de las pelculas fueron de 0,09, 0,12, 0,20 y 0,225 m para los tiempos de deposicin de 1, 2, 3 y 4 h, respectivamente. Los espectros de fotoluminiscencia de las pelculas delgadas de CdO dopadas con Al se midieron a temperatura ambiente. La longitud de onda de fotoluminiscencia cambi en la secuencia, verde, azul, verde y azul, con el aumento del tiempo de deposicin, lo que indica que se pueden fabricar pelculas emisoras de luz azul ajustando los parmetros de procesamiento.

• Materias:Espectroscopia Nanocompuestos Oxidación electrolítica Espectrometría de masas Parámetros cinéticos
• Subjects:Spectroscopy Nanocomposites Electrolytic oxidation Mass spectrometry Kinetic parameters
• Palabras claves:Dopado con al; Películas delgadas; Tiempo de deposición; Temperatura del sustrato; Espectros de fotoluminiscencia; Parámetros de procesado
• Keywords:Al-doped; Thin films; Deposition time; Substrate temperature; Photoluminescence spectra; Processing parameters