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Study of Large-Scale Aluminium-Doped Zinc Oxide Ceramic Targets Prepared by Slip CastingEstudio de los blancos cerámicos de óxido de zinc dopados con aluminio a gran escala, preparados por fundición deslizante

Resumen

Se han preparado compactos cerámicos de óxido de zinc dopado con aluminio (AZO) de un tamaño de 170 × 340 × 17 mm mediante colada por deslizamiento. Se obtuvo una pasta de AZO con buena fluidez y viscosidad cuando se añadió un 1,2 % en peso de dispersante, lo que indica que la pasta preparada con partículas micrométricas es más adecuada para el colado por deslizamiento. Se investigó la densificación y las propiedades eléctricas de los blancos AZO preparados con partículas de diferentes tamaños tras la sinterización de 1380 a 1460°C. Los resultados mostraron que la densidad relativa del blanco AZO preparado con partículas de 45 nm podía alcanzar casi el 98 a 1380°C; la resistividad del blanco AZO preparado con partículas nanométricas podía ser tan baja como 1,6 × 10-3 Ω-cm a 1400°C; y la transmitancia media de la película AZO preparada con partículas nanométricas podía alcanzar un valor máximo de 93,73% en la región visible a 250 W. En este estudio, se estudió la correlación entre la densidad, la resistividad y el crecimiento del grano de los compactos cerámicos AZO en verde.

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