Se realizaron simulaciones Monte Carlo para investigar el comportamiento de la relacin pico/fondo (P/B) de las partculas sobre un sustrato en funcin de diferentes variables como el ngulo de despegue, el ngulo de inclinacin, el tamao de las partculas y la energa del haz. Los resultados mostraron que la P/B depende en gran medida de la energa del haz, el tamao de las partculas y la composicin de los sustratos. Los resultados mostraron que la tasa de reduccin de intensidad del pico es menor que el fondo para un ngulo de inclinacin alto (60 grados), y por lo tanto, la P/B aumenta a un ngulo de inclinacin alto. Se demostr que al aumentar el ngulo de inclinacin, la P/B se reduce inicialmente y luego alcanza una meseta. Los resultados mostraron que la P/B depende en gran medida del tamao de las partculas. Los anlisis mostraron que al mover el haz de electrones desde el centro hacia el lado de la partcula, la P/B aumenta. Finalmente, las partculas esfricas presentan una mayor sensibilidad de la P/B a la posicin del haz que las partculas cbicas.
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