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In Situ and Ex Situ Studies of Molybdenum Thin Films Deposited by rf and dc Magnetron Sputtering as a Back Contact for CIGS Solar CellsEstudios in situ y ex situ de películas delgadas de molibdeno depositadas mediante sputtering de magnetrón rf y dc como contacto dorsal para células solares CIGS

Resumen

Se depositaron películas delgadas de molibdeno mediante sputtering magnetrónico rf y dc y se analizaron sus propiedades en relación con su posible aplicación como contacto posterior para células solares CIGS. Se demuestra que ambos tipos de películas tienden a pasar de la tensión de tracción a la de compresión cuando aumenta la presión de deposición, mientras que la conductividad y el tamaño de grano disminuyen. La nucleación de las películas caracterizada por elipsometría espectroscópica in situ y en tiempo real muestra que ambas películas siguen un crecimiento Volmer-Weber, con una mayor rugosidad superficial y menor tasa de deposición para las películas depositadas por rf. A continuación, se extrajo el tiempo de relajación electrónica en función del grosor de la capa para las películas de rf y dc ajustando cada función dieléctrica a un modelo de electrones libres de Drude combinado con un oscilador de Lorentz amplio. Los valores se ajustaron a un modo de crecimiento cónico y demostraron que las películas depositadas por radiofrecuencia tienen granos más pequeños que las películas de corriente continua cuando el grosor de la capa es de 30 nm.

  • Tipo de documento:
  • Formato:pdf
  • Idioma:Ingl閟
  • Tama駉: Kb

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Información del documento

  • Titulo:In Situ and Ex Situ Studies of Molybdenum Thin Films Deposited by rf and dc Magnetron Sputtering as a Back Contact for CIGS Solar Cells
  • Autor:K., Aryal; H., Khatri; R. W., Collins; S., Marsillac
  • Tipo:Art韈ulo
  • Año:2012
  • Idioma:Ingl閟
  • Editor:Hindawi Publishing Corporation
  • Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Biofotónica
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