Se depositaron películas delgadas de molibdeno mediante sputtering magnetrónico rf y dc y se analizaron sus propiedades en relación con su posible aplicación como contacto posterior para células solares CIGS. Se demuestra que ambos tipos de películas tienden a pasar de la tensión de tracción a la de compresión cuando aumenta la presión de deposición, mientras que la conductividad y el tamaño de grano disminuyen. La nucleación de las películas caracterizada por elipsometría espectroscópica in situ y en tiempo real muestra que ambas películas siguen un crecimiento Volmer-Weber, con una mayor rugosidad superficial y menor tasa de deposición para las películas depositadas por rf. A continuación, se extrajo el tiempo de relajación electrónica en función del grosor de la capa para las películas de rf y dc ajustando cada función dieléctrica a un modelo de electrones libres de Drude combinado con un oscilador de Lorentz amplio. Los valores se ajustaron a un modo de crecimiento cónico y demostraron que las películas depositadas por radiofrecuencia tienen granos más pequeños que las películas de corriente continua cuando el grosor de la capa es de 30 nm.
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