Se describe la fabricación rentable de nanoestructuras aleatorias de metales nobles con un tamaño del orden de 10 nm sobre un sustrato dieléctrico de gran superficie. El método combina el grabado en seco del sustrato mediante una máscara metálica autoorganizada con la deposición direccional de una película metálica multicapa. La técnica permite crear nanoislas metálicas sobre una plantilla dieléctrica nanopatternada con una adherencia mejorada entre el metal y el dieléctrico. El uso de la capa de adherencia -que hace que las estructuras sean estables- es importante en vista de la variedad de aplicaciones ópticas y otras aplicaciones potenciales de las estructuras. Observamos que la presencia de la subcapa de adherencia influye drásticamente tanto en las propiedades morfológicas como ópticas de las estructuras. Los resultados de este trabajo pueden ser de interés para el desarrollo de nuevas aproximaciones a la nanofabricación basada en la autoorganización de nanoestructuras metálicas y metal-dieléctricas extremadamente pequeñas sobre sustratos de gran superficie.
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