Se investiga la absortividad de tres tipos de morfología superficial, es decir, la superficie acanalada tipo V, la superficie sinusoidal y la distribución aleatoria, utilizando una teoría electromagnética rigurosa y un método de elementos finitos. Se simulan numéricamente y se analizan las influencias de los parámetros del contorno de la superficie (distancia de tramo, ángulo de intersección y altura) y de los parámetros de la onda luminosa (ángulo de incidencia y longitud de onda) en la absortividad para los tres tipos de superficies, respectivamente. Se registran espectros de absorción sobre tres obleas de silicio con diferentes rugosidades superficiales, y los resultados coinciden con los resultados simulados.
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