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Artículo

Influence of Critical Flow in the Differentially Pumped Chamber AQUASEMInfluencia del flujo crítico en la cámara de bombeo diferencial AQUASEM

Resumen

El artículo aborda el efecto del flujo crítico, que se examina en el bombeo de la cámara de bombeo diferencial del Microscopio electrónico de barrido ambiental (ESEM). El artículo compara el estado del flujo en el área de la cámara bombeada a una relación de presión en las aberturas cuando ocurre el flujo crítico y sus ventajas en el diseño de las cámaras versus el flujo sin obstruir la boquilla. Los problemas se resolvieron utilizando el método de volumen finito por el sistema Ansys Fluent.

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  • Idioma:Inglés
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