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Experimental Investigation on Mechanical Properties of TiAlN Thin Films Deposited by RF Magnetron SputteringInvestigación experimental de las propiedades mecánicas de las películas delgadas de TiAlN depositadas mediante pulverización catódica por magnetrón de RF

Resumen

En este estudio se explican las propiedades mecánicas del TiAlN depositado sobre el acero. Las películas finas se depositan mediante pulverización catódica por magnetrón de RF sobre los sustratos de acero para mejorar la resistencia al desgaste y la dureza de las muestras. Debido a su microestructura mejorada y a sus nanogranos, las nanopelículas han mejorado las propiedades mecánicas de la superficie del sustrato de acero. La fina película depositada ha mejorado la resistencia al desgaste en un 80 y ha mejorado la dureza en un 95%. Las películas finas depositadas se han sometido a pruebas de dureza mediante nanoindentación y a pruebas de desgaste mediante el ensayo pin-on-disk. El SEM ha comprobado la microestructura y la adherencia de las películas mediante la prueba de nanoscratch.

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