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High-Accuracy Surface Profile Measurement Based on the Vortex Phase-Shifting InterferometryMedición de perfiles de superficie de alta precisión basada en la interferometría de cambio de fase de vórtice

Resumen

Según el principio de la interferometría de desplazamiento de fase y las características de fase espiral del haz de vórtice, este artículo propone un método para detectar el perfil de la superficie de un objeto transparente, en el que el haz de vórtice de 1 orden se genera mediante un modulador de luz espacial y se toma como luz de referencia. Se estudia la influencia de las características de modulación de fase no lineal del modulador de luz espacial en la precisión de la medición. Los resultados muestran que la modulación de fase no lineal tiene un gran impacto en la medición. A continuación, se utilizan las luces de vórtice con fases iniciales de 0, π/2, π y 3π/2 para medir la muestra de película fina de tipo H basándose en el sistema de interferencia Twyman-Green tras corregir las características de modulación de fase no lineal. Los resultados experimentales muestran que el error de medición del perfil de superficie a un objeto con el valor teórico de 20 nm es de 1,146 nm, y se verifica la viabilidad de la técnica de desplazamiento de fase de vórtice óptico utilizada para medir el perfil de superficie de un objeto.

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