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Artículo

Mediciones de rompimiento electrostático en separaciones micrométricasElectrostatic Breakdown Measurements in Micro Gaps

Resumen

La continua miniaturización de dispositivos electrónicos y electro-mecánicos ha permitido el estudio de efectos no visibles a microescalas, como es el caso del comportamiento de electrodos separados a microescala. Se presenta aquí el comportamiento de electrodos de aluminio a presión atmosférica para un rango de separaciones de 1 m a 22 m. Convencionalmente, el comportamiento de electrodos se describe a partir de la curva de Paschen. Los resultados demuestran que, a separaciones menores de 4 m, el voltaje de rompimiento en los electrodos decae drásticamente y no presenta un mínimo como lo predice la curva de Paschen. Esta modi cación establece condiciones críticas de operación en dispositivos basados en electrodos con separaciones a microescalas

  • Tipo de documento:Artículo
  • Formato:pdf
  • Idioma:Español
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