Se describe la fabricación de matrices de nanotubos (NT) de oxinitruro de silicio (SiON)/ZnO y su aplicación para mejorar la eficiencia de conversión energética (η) de las células solares cristalinas basadas en Si. Las matrices de NT de SiON/ZnO tienen un índice de refracción graduado que varía de 3,5 (Si) a 1,9 ~ 2,0 (Si3N4 y ZnO) a 1,72 ~ 1,75 (SiON) a 1 (aire). Los resultados experimentales muestran que el uso de matrices de NT de ZnO de 0,4 μm de longitud recubiertas con una película de SiON de 150 nm de espesor aumenta Δ η / η en un 39,2% bajo iluminación AM 1,5 G (100 mW/cm2) en comparación con la de SCs regulares con una superficie de Si3N4/micropirámide. Esta mejora puede atribuirse a las matrices de SiON/ZnO NT que liberan eficazmente la reflexión superficial y minimizan la pérdida de Fresnel.
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