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Enhancement of Two-Dimensional Electron-Gas Properties by Zn Polar ZnMgO/MgO/ZnO Structure Grown by Radical-Source Laser Molecular Beam EpitaxyMejora de las propiedades bidimensionales electrón-gas de la estructura polar de ZnMgO/MgO/ZnO obtenida por epitaxia de haz molecular con láser de fuente radical

Resumen

Se ha publicado una estructura polar de ZnMgO/MgO/ZnO con una capa de Zn1-xMgxO de baja composición en Mg (x = 0,05) crecida sobre un plano (11-20) de zafiro mediante epitaxia de haz molecular con láser de fuente radical. La inserción de una fina capa de MgO (1 nm) entre las capas de ZnMgO y ZnO en las estructuras 2DEG de ZnMgO/ZnO produce un aumento de la densidad de la lámina 2DEG y afecta ligeramente a la movilidad de los electrones. La concentración de portadores alcanzó un valor tan alto como 1,1 × 1013 cm-2, lo que se confirmó mediante mediciones de C-V. En la heteroestructura Zn0,95Mg0,05O/MgO/ZnO se observó una elevada movilidad Hall de 3090 cm2/Vs a 10 K y de 332 cm2/Vs a RT. Se discutió la elección del espesor de MgO. Se calculó teóricamente la dependencia de la densidad de la lámina portadora de 2DEG del espesor de la capa de ZnMgO y la predicción teórica y los resultados experimentales concordaron bien.

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