Se cultivaron películas delgadas de óxido de indio y estaño (ITO) sobre sustratos de vidrio mediante pulverización catódica reactiva por magnetrón de corriente continua (CC) a temperatura ambiente. El recocido a la temperatura óptima puede mejorar considerablemente la composición, la estructura, las propiedades ópticas y las propiedades eléctricas de la película de ITO. Se obtuvo una muestra de ITO con una estructura cristalina favorable mediante recocido en proporción fija de oxígeno/argón de 0,03 a 400°C durante 30 min. La concentración de portadores, movilidad, resistividad, brecha de banda, transmisión en la región de luz visible y transmisión en las regiones cercanas al IR de la muestra de ITO fueron -1,6E 20 cm-3, 2,7E 01 cm2/Vs, 1,4E-03 Ohm-cm, 3,2 eV, 89,1% y 94,7%, respectivamente. Así pues, el recocido mejoró las transmisiones medias (400-1200 nm) de la película de ITO en un 16,36%. Además, el recocido de una célula solar de cobre-indio-galio-diseleniuro (CIGS) a 400°C durante 30 minutos en aire mejoró su eficiencia en un 18,75%. Las características del recocido de las películas de ITO afectan de manera importante a las propiedades estructurales, morfológicas, eléctricas y ópticas de las películas de ITO que se utilizan en las células solares.
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