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Multiposition Rotation Interference Absolute Measurement Method for High-Precision Optical Component SurfacesMétodo de medición absoluta por interferencia de rotación multiposición para superficies de componentes ópticos de alta precisión

Resumen

La ingeniería óptica moderna requiere métodos de interferometría cada vez más sofisticados, capaces de realizar mediciones a escala subnanométrica de las superficies de los componentes ópticos de gran apertura y alta precisión. Sin embargo, la precisión de la medición interferométrica está limitada a la exactitud con la que se conoce la superficie del espejo de referencia empleado en el sistema interferométrico, y no puede ignorarse la influencia de la deformación inducida por la gravedad. En el presente trabajo se aborda esta cuestión proponiendo un método de comprobación de tres planos basado en la tecnología de medición de superficies absolutas por interferometría de rotación multiposición que combina la teoría básica de la rotación de posición N con la separabilidad de las funciones de frente de onda de la superficie en sumas de funciones pares e impares. Estas funciones proporcionan los componentes simétricos rotacionales del frente de onda, lo que permite reconstruir la superficie absoluta basándose en las mediciones de rotación de N posiciones. Además, proponemos una sujeción mecánica combinada con un método computacional para compensar las deformaciones de los planos inducidas por la gravedad en las mediciones absolutas de rotación multiposición. La alta precisión del método propuesto de medición absoluta de superficies se demuestra mediante simulaciones. Los resultados de los experimentos de laboratorio indican que el método combinado de compensación proporciona resultados de alta precisión en la reconstrucción de superficies. El presente trabajo supone una importante contribución para apoyar la medición interferométrica de superficies de componentes ópticos de gran apertura y alta precisión.

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