Resumen

Como una alternativa a los microactuadores térmicos accionados eléctricamente, en este artículo se presenta un microdispositivo que puede operar aprovechando el calor del ambiente circundante y que puede usarse ya sea como actuador o como sensor térmico. Al no depender de batería alguna para su operación, este dispositivo es ideal para aplicaciones portátiles y de ultra-bajo consumo de potencia. El dispositivo fue implementado en una tecnología estándar de sistemas microelectromecánicos (MEMS).

• Materias:Tecnología de la instrumentación Instrumentos de medición
• Subjects:Instrumentation technology Measuring instruments
• Palabras claves:Instrumentación industrial, Sensores, Sensores térmicos, Micro sensor-actuador térmico, Ultra-bajo consumo de potencia, sistemas microelectromecánicos, MEMS, Microelectrónica
• Keywords:Industrial instrumentation, Sensors, Thermal sensors, Thermal micro sensor-actuator, Ultra-low power consumption, Microelectromechanical systems, MEMS, Microelectronics