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Artículo

Damped Cantilever Microprobes for High-Speed Contact Metrology with 3D Surface TopographyMicrosondas en voladizo amortiguadas para metrología de contacto de alta velocidad con topografía de superficies en 3D.

Resumen

En este artículo se presenta el recubrimiento de microsondas en voladizo de 5 mm de longitud con un material viscoelástico, con el que se pretende ampliar el rango de la velocidad de desplazamiento durante las mediciones de la topografía tridimensional de la superficie amortiguando las oscilaciones inducidas por el contacto. Además, se investigó la amplitud y la fase del modo de oscilación fundamental fuera del plano del voladizo en función del grosor de la capa amortiguadora. Los autores concluyen que la frecuencia de resonancia y el factor de calidad disminuyeron al aumentar el grosor de la capa amortiguadora, tanto para el modo de oscilación libre como para el modo de barrido en contacto.

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Información del documento

  • Titulo:Damped Cantilever Microprobes for High-Speed Contact Metrology with 3D Surface Topography
  • Autor:Fahrbach, Michael; Xu, Min; Nyang’au, Wilson Ombati; Domanov, Oleg; Schwalb, Christian H.; Li, Zhi; Kuhlmann, Christian; Brand, Uwe; Peiner, Erwin
  • Tipo:Artículo
  • Año:2023
  • Idioma:Inglés
  • Editor:MDPI
  • Materias:Metrología Criterios de oscilación Control de calidad Topografía
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