Resumen

En este estudio, se describe un modelo matemático híbrido de un chorro de plasma de RF de baja presión en modo de transición entre el flujo continuo y el flujo molecular libre a un número de Knudsen de 8-10-3 ≤ Kn ≤ 7-10-2 para un gas portador. El modelo tiene en cuenta los electrones, los iones, los átomos metaestables y los campos electromagnéticos potenciales y de rizo. El modelo se basa tanto en un enfoque estadístico para los átomos en el estado de tierra como en un modelo de continuidad para otros componentes. Se describen los resultados de los cálculos del flujo de plasma en un chorro no perturbado. Se dan las distribuciones de las partes electrodinámica y electrostática del campo eléctrico. Se ha observado que el chorro de plasma tiene una estructura en capas a lo largo de la corriente: al principio del chorro se forma una región de carga positiva, seguida de una región de carga negativa y, a continuación, otra positiva. La razón de la formación de una estructura en capas es la rápida expansión del flujo cuando el plasma entra en el vacío y la diferencia de pulso de electrones e iones.

• Materias:Análisis de suelos Hormigón Asfalto Drenaje Acero
• Subjects:Soil testing Concrete Asphalt Drainage Steel
• Palabras claves:estructura estratificada, cálculo del flujo de plasma, región de carga negativa, campo electromagnético rizado, chorro de plasma rf, expansión rápida del flujo, flujo molecular libre, región de carga positiva, modelo matemático híbrido, plasma rf a presión
• Keywords:layered structure, plasma flow calculation, negative charge region, curl electromagnetic field, rf plasma jet, fast flow expansion, free molecular flow, positive charge region, hybrid mathematical model, pressure rf plasma