Resumen

El carburo de silicio nanoporoso forma parte de la importante clase de organosilicatos de aleaciones de baja constante dieléctrica. Presentamos cálculos microscópicos de primeros principios de las propiedades de los sistemas cristalinos nanoporosos de SiCH. Las propiedades examinadas incluyen la densidad, el tamaño de los poros, la constante dieléctrica y los módulos de deformación. Examinamos la relación entre las distintas propiedades y la cantidad de hidrógeno en el material. Además, se examina la topología de enlace. Los presentes resultados se comparan con diversos experimentos.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos Nanomateriales
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes Nanomaterials
• Palabras claves:sistemas cristalinos nanoporosos sich, aleaciones de baja constante dieléctrica, carburo de silicio nanoporoso, importante clase de organosilicatos, topología de enlace, cálculos microscópicos, tamaño de poro, resultados actuales, módulos de deformación, diversas propiedades
• Keywords:crystalline nanoporous sich systems, low dielectric constant alloys, nanoporous silicon carbide, important organosilicate class, bonding topology, microscopic calculations, pore size, present results, strain moduli, various properties