En este trabajo preparamos recubrimientos antirreflectantes de doble capa (DARC) utilizando el diseño de heteroestructura SiO2/SiN x:H. Se depositaron películas finas de SiO2 mediante evaporación por haz de electrones sobre la célula solar convencional con recubrimientos antirreflectantes de una capa de SiN x:H (SARC), mientras que para evitar la cobertura de SiO2 en las barras colectoras de la cara frontal se utilizó una máscara de acero como protección. El espesor del SiN x:H como capa inferior se fijó en 80 nm, y los espesores variados del SiO2 como capa superior fueron 105 nm y 122 nm. Los resultados muestran que los DARC de SiO2/SiN x:H tienen una reflectancia mucho menor y una mayor eficiencia cuántica externa (EQE) en longitudes de onda cortas en comparación con los SARC de SiN x:H. La eficiencia de conversión de energía es mayor, de 17,5 nm. En las células solares con DARC de SiO2 (105 nm)/SiN x:H (80 nm) se obtuvo una eficiencia de conversión de energía superior, del 17,80%, lo que supone un aumento absoluto de la eficiencia de conversión de 0,32 en comparación con las células convencionales recubiertas con SiN x:H simple.
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