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En este documento se presenta sensor de presión inalámbrico RF. El diseño de dicho sensor tiene un capacitor paralelo y un inductor cuadrado de espiral de película delgada como circuito resonante. El capacitor detecta el cambio de presión. Por su parte, el inductor se fabricó con el capacitor en oblea usando una técnica MEMS. El capacitor tiene que ser bastante sensible ya que los sensores se usan para medir la presión en cmH2O.
Esta es una versión de prueba de citación de documentos de la Biblioteca Virtual Pro. Puede contener errores. Lo invitamos a consultar los manuales de citación de las respectivas fuentes.
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