Este artículo propone un sensor pasivo inalámbrico de vibraciones basado en cerámica de alta temperatura para la medición de vibraciones en entornos hostiles como la automoción y los motores avanzados. El sensor puede ser equivalente a un tanque de resonancia LC de RF sensible a la aceleración. Se presentan en detalle el diseño estructural del tanque LC y el mecanismo de detección inalámbrica de señales. Las propiedades mecánicas a alta temperatura de la estructura sensible se analizan mediante ANSYS a 25-400°C, lo que demuestra la utilidad del sensor de vibraciones en entornos de alta temperatura. La fabricación tridimensional integrada de sensores de vibración con una estructura de viga-masa basada en cerámica de alta temperatura se completa mediante un proceso de unión. Por último, se comprueba el funcionamiento del sensor en una plataforma experimental construida, y los resultados muestran que la sensibilidad a las vibraciones es de aproximadamente 1,303 mv/m-s-2, y el error no lineal es de aproximadamente el 4,3%. El sensor de vibraciones puede funcionar con normalidad a 250°C, y la sensibilidad es de 0,989 mv/m-s-2.
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