Se propone una nueva técnica para medir la estructura de películas basada en la combinación de ajuste en el dominio del tiempo y la frecuencia y la interferometría de escaneo con luz blanca. El enfoque requiere solo un escaneo único y emplea un método de ajuste para obtener el grosor de la película y la altura de la superficie superior en los dominios de frecuencia y tiempo, respectivamente. Se aplica la función de correlación cruzada para obtener el valor inicial de la altura de la superficie superior, lo que hace que el proceso de ajuste sea más preciso. Se midieron películas estándar (SiO) con diferentes grosores para verificar la precisión y fiabilidad del método propuesto, y se reconstruyeron las topografías tridimensionales de las superficies superior e inferior de las películas.