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Análisis elipsométrico de la estructura de las películas de telururo de cadmio

Autores: Anna, Evmenova; Volodymyr, Odarych; Mykola, Vuichyk; Fedir, Sizov

Idioma: Inglés

Editor: Hindawi Publishing Corporation

Año: 2015

Disponible con Suscripción Virtualpro

Artículos


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 11

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Se ha realizado un análisis elipsométrico de las películas de CdTe crecidas sobre sustratos de Si y CdHgTe en la configuración de vacío de la epitaxia de "pared caliente". Se ha encontrado que el cálculo de los datos elipsométricos llevado a cabo utilizando un modelo simple de película de una capa conduce a una distorsión radical de los espectros de las constantes ópticas: este hecho autentifica la necesidad de atraer un modelo más complicado que debe incluir la heterogeneidad de las películas. El cálculo de los datos elipsométricos dentro de un modelo de película de dos capas permitió concluir que las películas de teluro de cadmio tienen una capa exterior que consiste en la mezcla de tres componentes de CdTe, cavidades y óxido de materia básica. La proporción de los componentes de la mezcla depende del tiempo de deposición, es decir, del espesor de la película. La capa interior está formada por teluro de cadmio.

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