Las propiedades mecánicas y los comportamientos de deformación de las películas delgadas de AlN depositadas sobre sustratos de zafiro plano c por el método de sputtering helicoidal se determinaron mediante nanoindentación Berkovich y microscopía electrónica de transmisión transversal (XTEM). Las curvas carga-desplazamiento muestran el fenómeno de "pop-ins" durante la carga por nanoindentación, indicativo de la formación de bandas de deslizamiento causadas por la propagación de dislocaciones. Ni el XTEM ni la microscopía de fuerza atómica (AFM) de las regiones deformadas mecánicamente mostraron indicios de transformación de fase inducida por la nanoindentación ni patrones de agrietamiento hasta la carga máxima de 80 mN. En cambio, el XTEM reveló que el principal mecanismo de deformación en las láminas delgadas de AlN es la propagación de dislocaciones en los planos basal y piramidal. Además, la dureza y el módulo de Young de las láminas delgadas de AlN estimados mediante el modo de medición continua de la rigidez de contacto (CSM) proporcionado con el nanoindentador son de 16,2 GPa y 243,5 GPa, respectivamente.