En este trabajo, se presenta un estudio paramétrico detallado que evalúa el impacto de los recubrimientos de baja conductividad en el factor de calidad de la cavidad de aceleración de radiofrecuencia y el desplazamiento de la frecuencia de resonancia. En particular, este estudio tiene como objetivo demostrar la viabilidad de los óxidos de molibdeno depositados sobre cobre para reducir la corriente oscura en aplicaciones de alto gradiente debido a su alta función de trabajo intrínseca. Para calcular la impedancia superficial efectiva de la estructura en capas resultante, se adopta un enfoque basado en líneas de transmisión. El análisis presente demuestra la efectividad potencial de las películas delgadas de molibdeno, que solo afectan ligeramente el factor de calidad de la cavidad de aceleración, con una muy baja sensibilidad a las inhomogeneidades de grosor y resistividad.