El grosor de la capa de óxido conductor transparente (TCO) afecta significativamente no sólo a las propiedades ópticas y eléctricas, sino también a su durabilidad mecánica. Para evaluar estas influencias en la capa de óxido de zinc dopado con molibdeno depositada sobre un sustrato flexible de polietersulfona (PES) mediante un sistema de pulverización catódica de doble haz de iones, se prepararon películas de diversos espesores en las mismas condiciones y se compararon sus prestaciones ópticas y eléctricas. Los resultados muestran que todas las películas depositadas presentan una estructura cristalina wurtzita, pero la orientación preferida cambia de (002) a (100) al aumentar el espesor de la película. Una capa más gruesa contiene una mayor concentración relativa de portadores, pero la mayor tensión interna acumulada en consecuencia podría agrietar la película y retrasar la movilidad de los portadores. La competencia de estas dos tendencias opuestas para la concentración de portadores y la movilidad de portadores da como resultado que la resistividad eléctrica del óxido de zinc dopado con molibdeno disminuye primero con el espesor, pero aumenta repentinamente cuando se alcanza un espesor crítico.