Micro sensor-actuador térmico sin baterías para aplicaciones en microelectrónica de ultra-bajo consumo de potencia
Autores: Varona, J.; Tecpoyotl-Torres, M.; Velázquez, R.
Idioma: Español
Editor: Sociedad Mexicana de Física
Año: 2013
Acceso abierto
Categoría
Consultas: 642
Citaciones: Sensores
Como una alternativa a los microactuadores térmicos accionados eléctricamente, en este artículo se presenta un microdispositivo que puede operar aprovechando el calor del ambiente circundante y que puede usarse ya sea como actuador o como sensor térmico. Al no depender de batería alguna para su operación, este dispositivo es ideal para aplicaciones portátiles y de ultra-bajo consumo de potencia. El dispositivo fue implementado en una tecnología estándar de sistemas microelectromecánicos (MEMS).
Como una alternativa a los microactuadores térmicos accionados eléctricamente, en este artículo se presenta un microdispositivo que puede operar aprovechando el calor del ambiente circundante y que puede usarse ya sea como actuador o como sensor térmico. Al no depender de batería alguna para su operación, este dispositivo es ideal para aplicaciones portátiles y de ultra-bajo consumo de potencia. El dispositivo fue implementado en una tecnología estándar de sistemas microelectromecánicos (MEMS).